投影光刻机作为高端制造设备，对稳定性与精度要求极高。为确保其平稳运行，选择合适的空气气浮减震器至关重要。气浮减震器通过利用水的浮力，有效抑制设备振动，提升运行稳定性。
选型需考虑设备类型、重量及工作环境等关键因素。重载设备应选用 damping系数较大的产品，以确保在高负荷下的稳定运行。环境因素如湿度与温度变化也影响减震器性能，需选择耐久性好的产品。
专业工程师建议根据设备参数，参考产品手册进行选型。建议建立测试平台，通过振动测试验证减震效果。选用气浮减震器可显著提升设备的稳定性和制造效率，助力实现更高质量的光刻效果。
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